underfill芯片半導體底部填充倒裝方式
正、倒裝芯片是當今半導體封裝領(lǐng)域的一大熱點,既是一種芯片互連技術(shù),也是一種理想的芯片粘接技術(shù)。
以往后級封裝技術(shù)都是將芯片的有源區(qū)面朝上,背對基板粘貼后鍵合(如引線鍵合和載帶自動鍵合TAB)。而倒裝芯片則是將芯片有源區(qū)面對基板,通過芯片上呈陣列排列的焊料凸點來實現(xiàn)芯片與襯底的互連。顯然,這種正倒封裝半導體芯片、underfill 底部填充工藝要求都更高。
隨著半導體的精密化精細化,底部填充膠填充工藝需要更嚴謹,封裝技術(shù)要求更高,普通的點膠閥已經(jīng)難以滿足半導體underfill底部填充封裝。而高精度噴射閥正是實現(xiàn)半導體底部填充封裝工藝的新技術(shù)產(chǎn)品。
underfill半導體底部填充工藝的噴射涂布方式也是非常講究的,有了高速噴射閥的使用,可以確保underfill半導體底部填充工藝的完美程度。底部填充膠因毛細管虹吸作用按箭頭方向自動填充。通常情況下,不建議采用“U”型作業(yè),通常用“一”型和“L”型,因為采用“U”型作業(yè),通過表面觀察的,有可能會形成元件底部中間大范圍內(nèi)空洞。
深圳市歐力克斯科技有限公司自主研發(fā)的高速壓電噴射閥搭載在線式視覺點膠機,適應不同粘度流體漿體,滿足底部填充膠的流動性膠水;底部填充工藝中需要關(guān)注的問題有兩個,一個是盡量避免不需要填充的元件被填充,另一個是絕對禁止填充物對扣屏蔽罩有影響,依據(jù)這兩個原則可以確定噴涂位置,歐力克斯高速壓電非接觸式噴射閥更好的配合使用。
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